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Agilent安捷伦高通量Turbo-V 1K-G 涡轮分子泵是一种专用真空泵系统,抽速可达 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 专为工业应用而设计,尤其可用作薄膜沉积设备的涡轮分子泵。
产品详情
Agilent安捷伦高通量Turbo-V 1K-G 涡轮分子泵是一种专用真空泵系统,抽速可达 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 专为工业应用而设计,尤其可用作薄膜沉积设备的涡轮分子泵。其叶片级数和整个泵结构均经过优化,能够在高温负载和很高氩气流下工作
典型的工业真空镀膜应用,包括太阳能板和平板显示器制造。Turbo-V 1K-G 的可靠设计和先进的电子设备、机架式或一体式解决方案,使其成为真空镀膜行业的分子泵解决方案。
产品参数
H2 压缩比 | 1.5 x 104 |
He 压缩比 | >4 x 104 |
N2 压缩比 | >5 x 107 |
前级管道法兰尺寸 | KF 25 NW KF 40 NW |
前级耐压 — N2 | 3 mbar |
启动时间 | < 5 min |
工作位置 | 任意 |
建议采用的前级泵容量 | 20 m³/h |
抽速 — Ar | 1040 L/s (ISO 200) L/s |
抽速 — H2 | 730 L/s (ISO 200) L/s |
抽速 — He | 1150 L/s (ISO 200) L/s |
抽速 — N2 | 1080 L/s (ISO 200) L/s |
振动水平 | < 在抽气口法兰处为 0.01 μm |
操作环境温度 | +5 to +35 °C |
极限真空 | <1 x 10-10 mbar |
标准和认证 | UNI EN 292-1 UNI EN 292-2 EN 55011 A类 EN 61000-4-2 EN 61000-4-3 EN 61000-4-4 EN 61000-4-5 EN 61010-1 EN 1012-2 |
法兰类型 | DN 160 ISO-F DN 200 ISO-F |
贮存环境温度 | -20 至 +70 °C |
重量 | 26.8 kg |
额定转速 | 45660 rpm(驱动频率 761 Hz) |
产品特点
·专为薄膜沉积应用而设计的分子泵解决方案。
·经优化适用于很高的氩气流量。
·支持高气体流速,能够使用 DN 160 或 200 实现高通量应用。
·耐用设计、冷却系统可实现连续运行。
·气体吹扫可保护泵轴承,在存在系统污染物和微粒的情况下可实现无缝运行。
·低噪音,不会对系统产生任何影响。
·体积小巧,可安装在任何位置,有利于轻松集成。
·免维护轴承,运行成本低。
·通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制,以便随时随地进行泵的操作。
·通用电子接口。
产品选型
8698961R002 | Turbo-V 1K-G 泵 | DN 160 ISO-F 抽气口法兰,KF25 前级管道法兰 |
8698962R001 | Turbo-V 1K-G 泵 | DN 200 ISO-F 抽气口法兰,KF40 前级管道法兰 |
8698962R004 | Turbo-V 1K-G 泵 | DN 200 CF-F(10 英寸 CFF)抽气口法兰 |
以上就是北京天美娱乐有限公司为您介绍的安捷伦Agilent 涡轮分子泵TwisTorr Turbo-V 1K-G,如果想要了解更多产品信息请咨询15301310116(微信同号)。