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Agilent安捷伦 Turbo-V 3K-G 高通量涡轮分子泵是一款专用真空泵系统，是针对薄膜沉积设备精心设计的涡轮分子泵。
产品详情
Agilent安捷伦 Turbo-V 3K-G 高通量涡轮分子泵是一款专用真空泵系统，是针对薄膜沉积设备精心设计的涡轮分子泵。其叶片级数和整个泵结构均经过优化，能够在高温负载和极高氩气流下工作。
Turbo-V 3K-G涡轮分子泵设计坚固，适用于恶劣的制造环境。典型的工业真空镀膜应用，包括太阳能板和平板显示器制造。Turbo-V 3K-G 的可靠设计和先进的集成电子设备，使其成为真空镀膜行业的*佳分子泵解决方案。
产品参数
He 压缩比 | 6 x 103 |
N2 压缩比 | >1 x 107 |
前级管道法兰尺寸 | KF 40 NW |
前级耐压 — N2 | 0.5 mbar |
启动时间 | < 6 min |
工作位置 | 任意 |
建议采用的前级泵容量 | 60 m³/h |
抽速 — Ar | 2050 L/s |
抽速 — He | 1900 L/s |
抽速 — N2 | 2200 L/s |
操作环境温度 | +5 to +35 °C |
极限真空 | <1 x 10-8 mbar |
标准和认证 | EN 55011（无线电干扰特性） EN 61000-3-2（谐波电流发射限值） EN 61000-3-3（电压变化、电压波动和闪烁的限制） EN 61000-6-2 和 EN 61326（工业环境的抗扰度）检查： EN 61000-4-2（静电放电现象） EN 61000-4-3（高频辐射现象） EN 61000-4-4、EN 61000-4-5 和 EN61000-4-6（高频导电现象） EN 61000-4-11（电压波动、电压暂降和短时中断） |
法兰类型 | DN 250 ISO-F |
贮存环境温度 | -20 至 +70 °C |
重量 | 52 kg |
额定转速 | 31800 rpm（驱动频率 530 Hz） |
产品特点
·专为薄膜沉积应用而设计的分子泵解决方案。
·经优化适用于很高的氩气流量。
·集成式泵和控制器可安装在任何位置，操作简单，占地面积小。
·支持高气体流速，能够使用 DN 250 实现高通量应用。
·耐用设计、冷却系统可实现连续运行。
·气体吹扫可保护泵轴承，在存在系统污染物和微粒的情况下可实现无缝运行。
·低噪音，不会对系统产生任何影响。
·免维护轴承，运行成本低。
·通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制，以便随时随地进行泵操作并可选配 Profibus。
·通用电子接口，包括模拟 I/O 信号和 RS232/RS485，用于通过 A-Plus 软件实现远程控制。
以上就是北京天美娱乐有限公司为您介绍的Agilent安捷伦 涡轮分子泵TwisTorr Turbo-V 3K-G，如果想要了解更多产品信息请咨询15301310116（微信同号）。
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